Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературных источников 16
1.1 Существующие виды МОЭМС 16
1.2 Электростатические актюаторы 18
1.3 Тепловые актюаторы 27
1.4 Применение тепловых микроактюаторов 32
1.5 Моделирование тепловых микроактюаторов на основе линейного расширения 36
1.6 Моделирование тепловых актюаторов на основе многослойных балок 39
1.7 Выводы по главе 41
1.8 Постановка задач диссертационной работы 41
ГЛАВА 2. Моделирование теплового микроактюатора 43
2.1 Разработка общей конструкции теплового микроактюатора на основе биморфной структуры 43
2.2 Модель расчета стрелы прогиба биморфной балки в зависимости от температуры 46
2.3 Модель распределения перегрева по длине балки микроактюатора 53
2.4 Расчет динамических характеристик теплового микроактюатора 60
2.6 Выводы по главе 2 65
ГЛАВА 3. Разработка конструкции и технологии изготовления опытных образцов тепловых микроактюаторов и микрозеркальных элементов на их основе 67
3.1 Разработка базовой конструкции теплового микроактюатора 67
3.2 Разработка конструкции микрозеркального элемента на основе предложенного теплового микроактюатора 71
3.3 Разработка технологического маршрута изготовления теплового микроактюатора и микрозеркального элемента 76
3.4 Выводы по главе 3 88
ГЛАВА 4. Экспериментальное исследование опытных образцов тепловых микрозеркальных элементов 89
4.1 Исследование исходной стрелы прогиба ТМА в условиях отсутствия внешнего воздействия 89
4.2 Исследование распределения температуры по длине тепловыделяющей балки ТМА
4.2.1 Исследование зависимости электрического сопротивления ТМА от температуры в условиях отсутствия внешнего воздействия 95
4.2.2 Исследование изменения электрического сопротивления ТМА в зависимости от управляющего воздействия 100
4.3 Расчет и исследование времени нагрева и охлаждения активных элементов ТМА 112
Выводы по Главе 4 118
ГЛАВА 5. Анализ погрешностей и разработка алгоритма проектирования ТМА 120
5.1 Анализ и оценка погрешностей проведенных измерений 120
5.2 Алгоритм проектирования ТМА 125
Выводы по Главе 5 128
Основные результаты и выводы 130
Список используемых источников 132
