Введение
Глава 1. Современное состояние исследований ионного распыления керамических материалов 12
1.1. Керамики и их применение в стационарных плазменных двигателях 12
1.2. Краткие сведения о механизме ионного распыления 14
1.3. Исследование распыления керамических материалов 28
Глава 2. Экспериментальная установка и методика проведения эксперимента 35
2.1. Источник ионов и параметры ионного потока 37
2.2. Динамическая чистота поверхности 48
2.3. Проверка работоспособности методики эксперимента 51
2.4. Зависимость коэффициента распыления от дозы облучения 52
Глава 3. Зависимость коэффициентов распыления керамических материалов от энергии и угла падения ионов 56
3.1. Зависимости коэффициента распыления от энергии ионов 57
3.2. Зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов
Глава 4. Влияние состава керамических композитов на их характеристики распыления 70
Глава 5. Зависимость распыления керамических материалов от температуры поверхности 82
5.1. Уточнение методики эксперимента для повышенных температур 84
5.2. Температурные зависимости коэффициентов распыления
5.3. Влияние температуры на угловые зависимости коэффициента распыления 88
Заключение 92
Литература
