Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом

Абрамова Елена Александровна. Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Воронеж, 2003.- 107 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/3384-3
Автор
Абрамова Елена Александровна
Год
2003

  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

Влияние миграции точечных дефектов на радиационную стойкость гетерофазного полупроводника
99 000 UZS
Автор
Бухаров Владимир Эдуардович
Количество страниц
Год
2003
Свойства джозефсоновских переходов с прослойкой из сильно легированного аморфного кремния
99 000 UZS
Автор
Гудков Александр Львович
Количество страниц
Год
2003
Цифровая обработка рентгенотопографических и поляризационно-оптических изображений дефектов структуры монокристаллов
99 000 UZS
Автор
Дроздов Юрий Александрович
Количество страниц
Год
2003
Разработка магнитоэлектрических датчиков магнитного поля и СВЧ мощности на основе композиционных материалов
99 000 UZS
Автор
Килиба Юрий Владимирович
Количество страниц
Год
2003
Исследование акустического переноса зарядов в гетероструктурах на основе арсенида галлия
99 000 UZS
Автор
Егоркин Владимир Ильич
Количество страниц
Год
2003
Новостной блок
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3