Введение
Глава 1 Оптимизация режимов лазерной микрообработки 11
1.1 Взаимодействие лазерного излучения с веществом 11
1.2 Методы лазерной микрообработки поверхности 18
1.3 Методы контроля качества микротопографии поверхности 22
1.4 Анализ экспериментальных методов определения оптимальных режимов лазерной микрообработки 34
1.5 Выводы 45
Глава 2 Разработка алгоритма анализа изображений зоны векторной лазерной микрообработки 46
2.1 Алгоритм выделения границ структурных элементов 53
2.2 Результаты 55
2.3 Выводы 67
Глава 3 Разработка алгоритма анализа профилограмм поверхности, обработанной лазерным излучением 68
3.1 Исследование эффективности оптических методов для измерения микротопографии поверхности 68
3.2 Алгоритм совмещения изображений 72
3.3 Результаты 82
3.4 Выводы
Глава 4 Создание комплекса программных средств и применение разработанных алгоритмов 95
4.1 Программное обеспечение «MarkInspector» и «Profilometer» 95
4.2 Контроль качества прецизионных сеток 97
4.3 Определение оптимальных режимов фемтосекундной лазерной микрообработки стекла 105
Список литературы 128
