Введение
Глава 1. Аналитический обзор литературных данных по исследованию пьезо преобразователей в оборудовании и приборах электронной техники 13
1.1. Физические основы пьезоэффекта 13
1.2. Пьезоприводы в оборудовании и приборах электронной техники
1.2.1. Пьезоприводы систем микроперемещений 27
1.2.2. Пьезоклапаны и натекатели 31
1.2.3. Пьезогироскопы 37
1.2.4. Пьезосканеры 43
1.2.5. Микронасосы 52
1.2.6. Пьезокорректоры 57
1.3. Перспективные направления развития пьезоустройств 59
Глава 2. Методики расчета многослойных пьезопреобразователей с переменной жесткостью 60
2.1. Методика расчета прямоугольных пьезопреобразователей 62
2.2. Методика расчета дисковых пьезопреобразователей 64
2.3. Методика расчета трубчатых пьезопреобразователей 66
2.4. Тестирование разработанных методик
2.4.1. Тестовый расчет дискового пьезопривода 69
2.4.2. Тестовый расчет прямоугольного пьезопривода 72
2.4.3. Тестовый расчет трубчатого пьезопривода 75
Глава 3. Практические приложения методик расчета многослойных пьезо преобразователей 79
3.1. Разработка и исследование прямоугольных пьезоприводов 79
3.2. Исследования балочных пьезорезонаторов вибрационных гироскопов .86
3.3. Исследование планарных пьезорезонаторов вибрационных гироскопов .95
3.3.1. Методика определения выходного сигнала чувствительных элементов пье-зогироскопов 96
3.3.2. Мембранный пьезорезонатор с инерционной массой 97
3.3.3. Ш-образный пьезорезонатор 102
3.3.4. Т-образный планарный кварцевый пьезорезонатор 104
3.3.5. Крестообразный пьезорезонатор 105
3.3.6. Пьезорезонатор в форме песочных часов 108
3.4. Разработка и исследование трубчатых пьезоприводов сканирующих зондовых микроскопов 110
3.4.1 Численное моделирование трубчатого пьезопривода 112
3.4.2. Аналитическое моделирование трубчатого пьезопривода 115
3.5. Разработка и исследование перистальтических микропьезонасосов 121
Глава 4. Разработка и исследование по приведенным методикам многослойных пьезоприводов для устройств термокомпенсации оптических резонаторов 137
4.1. Разработка и исследование дисковых пьезокорректоров оптических интерферометров 137
4.2. Моделирование соединения оптическим контактом пьезозеркала и корпуса оптического резонатора 141
4.3. Компенсация тепловых деформаций ситаллового диска с многослойным покрытием с помощью пьезокольца 156
Основные выводы и результаты 164
Условные сокращения и обозначения 167
Список литературы
