Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктур на основе арсенида галлия методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро- и наноэлектроники
Солодовник, Максим Сергеевич. Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктур на основе арсенида галлия методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Солодовник Максим Сергеевич; [Место защиты: Юж. федер. ун-т].- Таганрог, 2013.- 163 с.: ил. РГБ ОД, 61 14-5/152
