Разработка и исследование технологических параметров процесса эпитаксии твердых растворов AIIIN методом молекулярно-лучевой эпитаксии для интегральных газовых сенсоров

Залозный, Александр Николаевич. Разработка и исследование технологических параметров процесса эпитаксии твердых растворов AIIIN методом молекулярно-лучевой эпитаксии для интегральных газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Залозный Александр Николаевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т].- Ставрополь, 2011.- 23 с.: ил. РГБ ОД, 9 11-6/1604