Разработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур
Дьячков, Сергей Александрович. Разработка и исследование технологических процессов анодного сращивания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2000.- 150 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/1178-X