Разработка и исследование устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную среду оборудования высоких технологий
Кузнецов, Павел Сергеевич. Разработка и исследование устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную среду оборудования высоких технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Кузнецов Павел Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электроники и математики].- Москва, 2012.- 219 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/2546
