Введение
Глава 1. Современное состояние методов проектирования и разработки микросистемных акселерометров 8
1.1 Обзор и анализ микросистемных чувствительных элементов датчиков ускорений 8
1.2 Особенности построения интегральных маятниковых подвесов из кремния 11
1.3 Особенности газодинамического демпфирования микромеханических маятников акселерометров 14
1.4 Особенности оптимизации микросистемного акселерометра при широкополосной случайной вибрации 14
Глава 2. Разработка подвижного узла акселерометра 17
2.1 Разработка математической модели маятникового подвижного узла с частично уравновешенной массой 17
2.2 Разработка упругого подвеса маятникового ЧЭ
2.2.1 Упругий подвес маятникового чувствительного элемента 26
2.2.2 Подвес с галтелями 32
Глава 3. Газодинамическое демпфирование подвижных узлов 40
3.1 Получение аналитического выражения для коэффициента демпфирования
осевого и маятникового подвижных узлов 40
3.1.1 Постановка задачи и граничные условия 40
3.1.2 Получение теоретического решения для осевого подвижного узла 43
3.1.3 Получение теоретического решения для маятникового подвижного узла 46
3.2 Демпфирование перфорированных чувствительных элементов 58
3.3 Анализ влияния коэффициента демпфирования на качество динамики маятникового подвижного узла 62
Глава 4
4.1 Оптимизация параметров микросистемного акселерометра при широко полосной случайной вибрации 67
4.1.1 Постановка задачи 67
4.1.2 Ограничения в задаче 67
4.1.3 Общий подход к решению задачи 68
4.1.4 Аппроксимация ШСВ 71
4.1.5 Вычисление СКО в общем виде и минимизация 72
4.1.6 Частные случаи расчета оптимальных параметров з
4.1.7 Программа расчета оптимальных параметров функции при ШСВ 78
4.1.8 Особенности оптимизации с учетом ШСВ на машинной модели 80
4.1.9 Выбор оптимальной передаточной функции микросистемного акселерометра с блоком электроники при воздействии широкополосной случайной вибрации 85
4.2 Оптимизация параметров корректирующего устройства 89
4.2.1 Оптимизация параметров ПИД-корректирующего устройства 90
Заключение 104
Перечень принятых обозначений 106
Литература
