Введение
Глава 1. Современное состояние и перспективы развития микросистемной техники 10
1.1. Современные концепции построения микроэлектромеханических систем 10
1.2. Преимущества микромеханических датчиков 11
1.3. Области практического применения микромеханических чувствительных элементов 13
1.4. Особенности конструкций микрогироскопов и микроакселерометров 25
Выводы по главе 1 33
Глава 2. Концепция построения микроакселерометра 34
2.1. Выбор кинематической схемы чувствительного элемента 34
2.2. Анализ напряженно-деформированного состояния консоли чувствительного элемента 38
2.3. Конечно-элементная модель чувствительного элемента. Оптимизация консоли чувствительного элемента 41
2.4. Анализ собственных частот и форм колебаний чувствительного элемента 46
Выводы по главе 2... 53
Глава 3. Преобразователи ускорений на ПАВ и их электрические схемы 54
3.1. Основы теории ПАВ 54
3.2. Фазовые преобразователи на ПАВ 63
3.3. Частотные дифференциальные преобразователи на ПАВ 64
3.4. Баланс амплитуд и фаз генератора с одновходовым ПАВ-резонатором ...70
3.5. Эквивалентные схемы ПАВ-резонаторов и их амплитудно-частотные характеристики 74
3.6. Анализ электрических схем автогенераторов с ПАВ-резонаторами ...78
3.7. Особенности выделения информативного сигнала 81
3.8. Анализ собственных температурных полей ММА 87
Выводы по главе 3 90
Глава 4. Экспериментальное исследование ММА на ПАВ 91
4.1. Выбор метода испытаний и градуировки ММА 91
4.2. Статические исследования ММА на поворотной платформе 95
4.3. Автоматизация градуировки ММА на платформе "Acutronic" 99
4.4. Оптимизация конструкции ММА 103
4.5. Экспериментальные исследования распределения собственных температурных полей ММА... 106
4.5.1 Анализ точечного распределения температурных полей 106
4.5.2 Пространственное распределение температурных полей ...107
4.6. Повышение температурной стабильности в режиме отношения частот... 114
4.7. Дифференциальные ПАВ-преобразователи без начального разноса собственных частот резонаторов 119
4.8. Вопросы микроминитюаризации и корпусирования 122
Выводы по главе 4 126
Заключение 127
Список литературы
