Введение
ГЛАВА 1. Современные технологии и производства получения поликремния 14
1.1 Основные виды поликристаллического кремния 14
1.2 Получение поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана. Традиционный "Сименс – процесс" 17
1.3 Получение поликристаллического кремния по FBR – технологии 21
1.4 Получение поликристаллического кремния по VLD – технологии 22
1.5 Получение поликристаллического кремния из моносилана 23
1.6 Сравнение силановой и трихлорсилановой технологии 29
1.7 Другие способы получения кремния 31
1.8 Характеристика программных комплексов для проектирования промышленных производств 32
1.9 Кинетика кремния с хлористым водородом 40
1.10 Постановка задачи исследования 43
Выводы по главе 1 46
ГЛАВА 2. Разработка и исследование математической модели химического реактора синтеза трихлорсилана .. 47
2.1 Анализ кинетических закономерностей процесса прямого синтеза трихлорсилана 47
2.2 Исследование устойчивости химического реактора прямого синтеза трихлорсилана 58
2.2.1 Приведение математической модели химического реактора к безразмерному виду з
2.2.2 Параметрический анализ математической модели химического реактора 66
Выводы по главе 2 78
ГЛАВА 3. Разработка промышленной технологической схемы получения трихлорсилана прямым синтезом 80
3.1 Расчет реактора синтеза трихлорсилана в псевдоожиженном слое 80
3.2 Разработка принципиальной технологической схемы получения трихлорсилана 96
3.2.1 Общие сведения о технологии получения трихлорсилана 97
3.2.2 Описание технологического процесса и принципиальной схемы синтеза трихлорсилана
3.2.3 Годовой материальный баланс 104
3.2.4 Конструкционные материалы 107 Выводы по главе 3 108
ГЛАВА 4. Построение технологической схемы процесса производства трихлорсилана в среде ASPEN ONE 110
4.1 Краткое описание процесса построения технологической схемы производства трихлорсилана в программном комплексе Aspen ONE 110
4.2 Разработка программного блока для создания модели промышленного реактора синтеза трихлорсилана в псевдоожиженном слое 121
4.2.1 Разработка алгоритма процесса гидрохлорирования кремния в реакторе с псевдоожиженным слоем 122
4.2.2 Разработка программы для моделирования процесса синтеза трихлорсилана в реакторе с псевдоожиженным слоем 125
4.3 Компьютерные системы трехмерного проектирования 130
4.3.1 Работа в системе AVEVA PDMS 133
Выводы по главе 4 137
Заключение 139
Список использованных источников 142
