Введение
Глава 1. Методы измерения электрических параметров лпд и переходного сопротивления систем металлизации к кремнию 10
1.1. Методы измерения переходного сопротивления систем металлизации к кремнию 11
1.2. Особенности проведения высокотемпературного эксперимента в условиях вакуума. получение высоких температур с использованием светового облучения 18
1.3. Устранение вибраций при проведении прецизионного лабораторного эксперимента в условиях вакуума 23
Выводы к главе 1 28
Глава 2. Фотонный отжиг пленок хрома и алюминия на кремнии 29
2.1. Методика проведения фотонного отжига 29
2.2. Характеристика образцов и некоторые данные о свойствах границы раздела хром кремний 32
2.3. Изучение микроструктуры пленок хрома на кремнии 36
2.4. Зависимость контактного сопротивления границы раздела хром-кремний и алюминий-кремний от времени фотонного отжига 40
Выводы к главе 2 46
Глава 3. Исследование поверхностного натяжения, поверхностной энергии и работы выхода электрона на некоторых межфазных границах .. 47
3.1. Метод нулевой ползучести 48
3.2. Высокотемпературный вариант компенсационного метода нулевой ползучести для измерения поверхностного натяжения металлов в твердом состоянии 56
3.3. Измерение поверхностного натяжения некоторых тугоплавких металлов и сплавов на границе раздела твердая фаза - собственный пар 62
3.3.1. Поверхностное натяжение металлов редкоземельной группы 62
3.3.2. Поверхностное натяжение металлов переходной группы..64
3.3.3. Поверхностное натяжение некоторых термопарных сплавов в твердом состоянии 66
3.4. Исследование поверхностного натяжения и адгезии на некоторых межфазных границах 68
3.4.1. Адгезия пленок на твердых подложках 68
3.4.2. Поверхностное натяжение твердых меди и серебра в парах олова 75
3.4.3. Исследование поверхностного натяжения, работы выхода электрона стали Х18Н10Т и адгезии к ней ртути и амальгамы таллия 78
Выводы к главе 3 81
Глава 4. Ориентационная зависимость поверхностной энергии, поверхностного натяжения и работы выхода гладких граней металлических монокристаллов 82
4.1. Анизотропия поверхностной энергии и работы выхода электрона металлов и сплавов 82
4.2. Расчет поверхностной энергии металлов 1В и 2В электронно-статистическим методом 93
4.3. Ориентационная зависимость поверхностной энергии и работы выхода электрона металлических монокристаллов 99
Выводы к главе 4 109
Выводы по работе ПО
Литература 112
