Разработка технологических основ создания наноструктурированных пленок оксидов ванадия методом импульсного лазерного осаждения и приборов на их основе
Михайличенко, Александр Валерьевич. Разработка технологических основ создания наноструктурированных пленок оксидов ванадия методом импульсного лазерного осаждения и приборов на их основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Михайличенко Александр Валерьевич; [Место защиты: Технол. ин-т Южного федер. ун-та].- Таганрог, 2011.- 176 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/3210
