Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур
Коломийцев, Алексей Сергеевич. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич; [Место защиты: Технол. ин-т Южного федер. ун-та].- Таганрог, 2011.- 187 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2749
