Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 11
1.1 Общие сведения 11
1.2 Концепция гетероструктурных элементов .14
1.3 Подложки и приготовление поверхности 19
1.4 Осаждение тонких пленок a-Si:H .21
1.4.1. Собственные тонкие пленки a-Si:H .21
1.4.2. Легированные слои a-Si:H 25
1.4.3. Поглощение в a-Si:H тонких пленках 28
1.5. Прозрачный проводящий оксид 30
1.6. Металлизация 33
1.7. Результаты по кремниевым гетероструктурным СЭ 35
ГЛАВА 2. Оптимизация параметров hit элементов 37
2.1. Основные физические соотношения, определяющие эффективность HIT СЭ .37
2.2. Оптимизация характеристик HIT элемента 40
ГЛАВА 3. Разработка технологического процесса изготовления гетероструктурных фэп на кремнии 48
3.1 Пассивация пластин монокристаллического кремния 48
3.1.1 Оптимизация режимов пассивации и определение эффективной площади реактора KAI 48
3.1.2 Определение допустимого времени хранения пластин после хим. обработки .52
3.1.3 Разработка прозрачного контакта .53
3.2 Разработка контактной сетки 58
3.2.1 Контактное сопротивление материалов к ITO 58
3.2.2 Сопротивление паст на ITO 63
3.2.3 Нанесение контактной сетки методом трафаретной печати .63
3.2.4 Пайка металлических лент 67
3.2.5 Контактирование тыльной стороны 68
3.3. Разработка прототипа паллеты для загрузки пластин в реакторы KAI .70
3.3.1 Требования к паллете .70
3.3.2 Материалы для изготовления паллет 71
3.3.3 Конструкция паллет 73
3.3.4 Макет упрощенной паллеты 77
3.4 Разработка процедуры текстурирования поверхности пластин 79
3.4.1 Обработка кремниевых подложек в химических растворах .79
3.4.1.1 Химическая очистка в растворах RCA 81
3.4.1.2 Удаление нарушенного слоя (химическое полирование) 81
3.4.1.3 Текстурирование .82
3.4.1.4 Пассивация 82 3.4.2 Экспериментальные работы 83
3.4.2.1 Очистка текстурированных пластин .83
3.4.2.2 Процедуры изготовления текстурированной кремниевой подложки 84
3.5. Изготовление HIT элементов с эффективностью свыше 20 % 89
3.5.1 Изготовление образцов HIT элементов 89
3.5.2. Исследование стабильности параметров HIT структур 94
3.5.3. Изготовление прототипов солнечных элементов HIT .96
3.5.3.1 Химическая обработка и текстурирование 96
3.5.3.2 Формирование гетеропереходов при помощи реакторов KAI 99
3.5.3.3 Завершение изготовления прототипов
и измерения их параметров .103
3.5.3.4. Анализ результатов изготовления
прототипов 105
Основные результаты и выводы 110
Список литературы
