Синтез методов и средства неразрушающего контроля качества полупроводниковых изделий на основе моделей неизотермического токораспределения в приборных структурах
Сергеев Вячеслав Андреевич. Синтез методов и средства неразрушающего контроля качества полупроводниковых изделий на основе моделей неизотермического токораспределения в приборных структурах : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 Ульяновск, 2005 328 с. РГБ ОД, 71:06-5/129
