Введение
1. Аналитический обзор 11
2. Физические основы проектирования многослойных пьезоэлектрических актюаторов 62
3. Разработка конструкций и технологий изготовления многослойных пьезоэлектрических актюаторов 104
3.1. Выбор пьезокерамического материала 104
3.2. Конструкция и технология изготовления дисковых пьезоэлементов для пьезоактюаторов типа I и II 109
3.3. Исследование параметров пьезоэлементов 112
3.4. Конструкция и технология изготовления многослойных пьезоэлементов для пьезоактюаторов типа III. Предельные параметры 113
3.5. Технология изготовления многослойного пьезоэлемента 120
3.6. Конструкции пьезоактюаторов 124
3.7. Герметизация пьезоактюаторов 128
3.8. Технология изготовления многослойного пьезоактюатора типа 1 131
3.9. Технология изготовления многослойных пьезоактюаторов типа II 133
3.10. Технология изготовления многослойных пьезоактюаторов типа III.. 136
4. Электрофизические и эксплуатационные параметры многослойных пьезоэлектрических актюаторов 139
4.1. Разработка методик измерений и испытаний многослойных пьезоэлектрических актюаторов 139
4.2. Исследование электрофизических и эксплутационных параметров многослойных пьезоэлектрических актюаторов 158
4.3. Твердотельные многослойные пьезоэлектрические генераторы — перспективные пьезоактюаторы 184
Заключение 191
Литература 194
Приложение
