Совершенствование технологии выращивания полупроводниковых гетероструктур методом МОС-гидридной эпитаксии на основе программного комплекса
Арбенин, Дмитрий Евгеньевич. Совершенствование технологии выращивания полупроводниковых гетероструктур методом МОС-гидридной эпитаксии на основе программного комплекса : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.01 / Арбенин Дмитрий Евгеньевич; [Место защиты: Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2010.- 186 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3197
