Введение
ГЛАВА 1 Метаматериалы и киральность (терминология, история, современное состояние, перспективы практического применения) 13
1.1. Метаматериалы 13
1.2.Киральность и киральные метаматериалы 16
1.3. Современные технологии формирования киральных метаматериалов с микро и нанорезонаторами 21
1.4. Актуальность и перспективы применения киральных терагерцовых метаматериалов 22
ГЛАВА 2 Формирование киральных терагерцовых метаматериалов методом сворачивания напряженных пленок 26
2.1. Основы метода сворачивания трехмерных оболочек из напряженных гетеропленок 26
2.2. Закрепление трехмерных нанопленочных оболочек на подложке 30
2.3. Выбор конфигураций киральных метаматериалов 38
2.4 Формирование бианизотропного метаматериала в виде двумерного массива полупроводниковых микротрубок с металлическими спиралями 42
2.5 Формирование биизотропного кирального метаматериала в виде квадратной решетки металл-полупроводниковых спиралей 47
ГЛАВА 3 Электромагнитные свойства киральных метаматериалов и систем на их основе в терагерцовом диапазоне 54
3.1 Методики исследования электромагнитных свойств сформированных метаматериалов и систем на их основе 54
3.2. Свойства системы параллельные микроспирали- GaAs 55
3.3 Свойства системы параллельные микроспирали- GaAs-воздух-GaAs 59
3.4 Свойства метаматериала в виде квадратной решетки микроспиралей, запечатанной в полимерную пленку. 61
3.5 Свойства системы квадратная решетка металл-полупроводниковых микроспиралей -GaAs 63
Заключение 69
Благодарности 74
Список сокращений и условных обозначений 77
Список использованной литературы


