Введение
Глава 1. Особенности формирования структуры пленок теллура и их свойства 12
1.1 .Рост и структура пленок теллура 14
1.2. Электрофизические свойства и термо-эдс пленок теллура 24
1.3 .Влияние примесей на свойства пленок теллура 29
1.4. Влияние электрического и электромагнитного полей на процессы конденсации 31
Выводы 34
Глава 2. Методы получения и исследования пленок 36
2.1 .Методы получения пленок теллура 36
2.1.1 ."Квазизамкнутый метод" получения пленок теллура в вакууме 36
2.1.2.Метод получения пленок в электрическом поле 39
2.2.Условия реализации методов получения пленок 41
2.3.Методы оценки параметров и исследование осаждаемых слоев пленок теллура 45
2.4.Методика получения пленок теллура и измерений их свойств 47
2.4.1 .Методика проведения эксперимента 47
2.4.2.Измерение электрофизических свойств пленок теллура 48
2.4.3 .Исследование диэлектрических свойств пленок теллура 50
2.4.4.Измерение эффекта поля и термо-эдс пленок теллура 52
Выводы 54
Глава 3. Выращивание совершенных пленок теллура "квазизамкнутым методом" 55
3.1.Особенности роста пленок теллура, конденсированных "квазизамкнутым методом" 55
3.1.1 . Морфологические особенности роста пленок теллура 55
3.1.2.3ависимость скорости роста и электрофизических свойств пленок теллура от условий получения 62
3.1.3.Изменение электрофизических параметров пленок теллура в процессе длительного хранения на воздухе при комнатной температуре 68
3.2.Определение оптимальных условий получения пленок теллура совершенной структуры 71
Выводы 75
Глава 4. Исследование пленок, полученных в электрическом поле 77
4.1.Влияние электрического поля и температуры подложки на рост и электрофизические свойства пленок теллура 77
4.2. Температурная зависимость электрофизических свойств пленок теллура, полученных при комнатной температуре 84
4.3.Термо-эдс пленок теллура, выращенных в электрических полях 99
4.4.Диэлектрическое поведение пленок теллура, выращенных в электрических полях 108
4.5.Эффект поля в пленках теллура, выращенных в электрических полях 112
4.6.Особенности роста пленок теллура в электрических полях 119
Выводы 127
Основные выводы по работе 129
Библиографический список использованной литературы
