Введение
1 Импульсные газовые разряды низкого давления в магнитном поле 11
1.1 Режимы магнетронного разряда 11
1.2 Процессы перехода тлеющего (магнетронного) разряда в дуговой режим 15
1.3 Исследования разрядов магнетронного типа 26
1.3.1 Особенности динамики разрядов магнетронного типа 26
1.3.2 Зондовые измерения в магнитном поле 62
1.3.3 Измерения энергетических распределений частиц . 69
1.4 Выводы 73
2 Экспериментальная установка 74
2.1 Разрядные устройства 74
2.1.1 Планарный магнетрон 74
2.1.2 Устройство с профилированными электродами . 76
2.2 Система электрического питания разряда 78
2.3 Вакуумная система 81
2.4 Комплекс зондовой диагностики 82
2.4.1 Импульсные электрические зонды 82
2.4.2 Электростатический энергоанализатор 85
2.4.3 Магнитные зонды 86
2.5 Комплекс оптической диагностики 87
2.5.1 Высокоскоростная оптическая съёмка 87
2.5.2 Оптическая эмиссионная спектроскопия 89
3 Экспериментальное исследование НРМР 90
3.1 Устойчивые режимы НРМР 90
3.2 Моделирование начальной стадии НРМР 93
3.3 Распределение параметров плазмы 107
3.4 Измерения с помощью энергоанализатора 112
3.4.1 Конструкция энергоанализатора 112
3.4.2 Энергетические распределения ионов 116
3.5 Высокоскоростная визуализация процессов в плазме 120
3.6 Спектроскопия плазмы 130
4 Обсуждение результатов и создание феноменологической модели 133
4.1 Высокочастотные периодические процессы 133
4.2 Модель низкочастотных периодических процессов 135
4.3 Значение НРМР в технологии 140
Заключение 141
Литература 143
