Введение
Глава 1. Покрытия на основе углерода
1.1. Методы управления свойствами неупорядоченных полупроводников 11
1.3. Аморфные алмазоподобные кремний-углеродные плёнки 23
1.3.1. Технология синтеза плёнок 24
1.3.2. Структура кремний-углеродных плёнок. Нанокомпозиты на их основе 27
1.3.3. Свойства кремний-углеродных плёнок 39
1.3.4. Области применения кремний-углеродных плёнок 55
Выводы и постановка задачи 57
Глава 2. Экспериментальные методы и оборудование для проведения
2.2. Рентгеноспектральный микроанализ 63
2.3. Просвечивающая электронная микроскопия
2.5.1. Зарядовая релаксационная спектроскопия глубоких уровней 85
2.5.2. Приборы для измерения электрофизических параметров 94
2.7. Получение аморфных алмазоподобных кремний-углеродных плёнок
Глава 3. Структурная модификация аморфных алмазоподобных кремний
3.1. Факторы и методы структурной модификации 106
3.2. Морфология и электропроводность кремний-углеродных плёнок 109
3.3. Модификация плёнок изменением потенциала смещения 121
3.5. Модификация поверхности плёнок лазерным излучением 138
Заключение 196
Библиографический список
