Введение
Глава I. Современные представления о физике фазового перехода «металл -полупроводник» в диоксиде ванадия 12
1.1 Физические характеристики диоксида ванадия 12
1.2. Зонная схема диоксида ванадия, структура фаз 14
1.3. Корреляционные эффекты 20
1.4. Модельные представления фазового перехода «металл -полупроводник» в диоксиде ванадия 23
1.5. Легирование 34
1.6. Тонкие пленки диоксида ванадия 36
1.7. Применения пленок диоксида ванадия 40
1.8. Методы получения тонких пленок VO2 46
1.9. Влияний условий синтеза на параметры фазового перехода в пленках VO2 51
1.10. Модели описывающие петлю гистерезиса 54
1.11. Травление 57
1.12. Облучение электронами пленок диоксида ванадия 58
1.13. Перколяционный переход в пленках VO2 60
Глава II. Методика эксперимента 62
2.1. Синтез пленок диоксида ванадия 63
2.2. Экспериментальная установка для синтеза тонких пленок VO2 68
2.3. Измерение отражательной способности пленок 72
2.4. Исследование морфологии синтезированных образцов пленок VO2 76
2.5. Емкостный метод измерения параметров петли температурного гистерезиса 80
2.6. Установка для исследования проводимости на переменном токе 84
2.7. Установка для исследования термоэдс 86
2.8. Перколяция. Методика определение критических индексов 89
Глава III. Исследование процесса фазового перехода «металл - полупроводник» в пленках диоксида ванадия 90
3.1.Феноменологическая модель 94
3.2. Влияние условий синтеза на фазовый переход металл-полупроводник в пленках диоксида ванадия 105
З.З.Доокисление (отжиг на воздухе) 123
ЗАНеизбирательное травление тонких пленок VO2 126
3.5.Избирательное травление 138
3.6. Отжиг пленок VO2 в вакууме и облучение их потоком электронов средних энергий 144
3.7.Легирование пленок диоксида ванадия элементами IV группы периодической системы 153
3.8.Перколяция. Частотные зависимости критических индексов 163
4. Основные результаты и выводы работы 170
Список литературы
