Свойства гетероструктур карбида кремния на кремнии, полученных методом эндотаксии, для создания чувствительных элементов бифункциональных датчиков температура-деформация
Сивакова Ксения Петровна. Свойства гетероструктур карбида кремния на кремнии, полученных методом эндотаксии, для создания чувствительных элементов бифункциональных датчиков температура-деформация : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Сивакова Ксения Петровна; [Место защиты: Сам. гос. ун-т].- Самара, 2009.- 155 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/62
