Введение
1. Редкоземельные элементы и их оксиды ... ..:.13
1.1. Редкоземельные металлы , 13
1.2. Структура оксидов редкоземельных элементов 17
1.3. Свойства оксидов редкоземельных элементов и МДМ- и МДП- структур на их основе 22
2. Методика получения образцов и измерения их характеристик 32
2.1. Методика изготовления образцов 32
2.2. Методика измерений и экспериментальные установки 35
3. Электрофизические свойства кремниевых мдп-структур с диэлектрическими пленками из оксидов редкоземельных элементов 43
3.1. Электропроводность кремниевых МДП-структур с ОРЗЭ в качестве
диэлектрика при постоянном напряжении 43
3.2. Проводимость и диэлектрические потери в кремниевых МДП-структурах с оксидами РЗЭ на переменном сигнале 50
3.3. Вольт-фарадные характеристики кремниевых МДП-структур с оксидами РЗЭ в качестве диэлектрика 54
3.4. Исследование генерационных процессов в кремниевых МДП-
структурах 59
3.5. Влияние температуры окисления двухслойной пленки из РЗМ на
характеристики МДП-структур 65
4. Фотоэлектрические свойства кремниевых мдп-структур с оксидом эрбия в качестве диэлектрика
4.1. Методика определения высот энергетических барьеров на межфазовых границах МДП-систем 71
4.2. Анализ спектральных зависимостей фототока МДП-структур Al-Er20,-Si 77
4.3. Анализ вольтаических зависимостей фототока 81
5. Параметры активных центров захвата в мдп-структурах Al-Er203~Si? 89
5.1. Методика определения локализации и плотности захваченного в объеме диэлектрика заряда 89
5.2. Определение величины и центроида заряда, захваченного в диэлектрической пленке оксида эрбия 93
5.3. Энергетическая глубина залегания электронных ловушек в пленках оксида эрбия 96
5.4. Исследование особенностей накопления заряда в структурах А1- Er203 ~Si под влиянием ультрафиолетового излучения 97
6. Просветляющие свойства пленок оксида эрбия. рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками орзэ 102
6.1. Оптические и просветляющие свойства пленок оксида эрбия 103
6.2. Рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками оксидов РЗЭ 107
Заключение 114
Список использованных источников
