Введение
ГЛАВА 1. Современные технологические процессы производства пластин-подложек интегральных микросхем 9
1.1. Конструкции пластин-подложек интегральных микросхем и предъявляемые к ним требования 9
1.2. Типовые технологические процессы изготовления пластин из кремния и сапфира 19
1.3. Формирование показателей качества пластин-подложек интегральных микросхем при их механической обработке и химико-механическом полировании 29
1.4. Основные направления совершенствования технологических процессов изготовления
пластин-подложек интегральных микросхем 38
1.5. Выводы по 1-й главе 52
1.6. Задачи исследований 54
ГЛАВА 2. Аналитическое обоснование технологического обеспечения показателей качества пластин совершенствованием технологических операций доводки 56
2.1. Исследование кинематики доводочных станков для повышения показателей точности формы плоских поверхностей пластин-подложек 56
2.2. Компьютерное моделирование операции шлифовки пластин подложек ИМС 71
2.3. Разработка методики выбора и расчета геометрических параметров каблучного инструмента для шлифования пластин-подложек ИМС 89
2.4. Компьютерное моделирование алмазно-абразивного каблучного инструмента 94
2.5. Определение рациональных припусков для
технологического процесса изготовления пластин-подложек 99
2.6. Выводы по 2-й главе 108
ГЛАВА 3. Методика экспериментальных исследований по
3.1. Описание работы программы компьютерного моделирования износа поверхности притира 110
3.2. Описание работы программы компьютерного моделирования каблучного алмазно-абразивного инструмента 117
3.3. Методика определения отклонений от плоскостности притиров 124
3.4. Методика определения износостойкости каблучного инструмента 130
3.5. Методика определения свойств поверхностного слоя на основе анализа приповерхностных нарушений
в пластинах-подложках 140
3.6. Выводы по 3-й главе 150
ГЛАВА 4. Результаты экспериментальных исследований и обсуждение полученных результатов 152
4.1. Экспериментальные исследования неравномерности износа поверхности притиров 152
4.2. Экспериментальные исследования износостойкости алмазно-абразивного инструмента 167
4.3. Разработка каблучного алмазно-абразивного инструмента 173
4.4. Исследования операции доводки пластин-подложек 180
4.5. Исследования приповерхностных нарушений после различных видов обработки 196
4.6. Выводы по 4-й главе 205
ГЛАВА 5. Практическая реализация результатов работы 207
5.1. Технологический процесс изготовления пластин сапфира 0 100 мм с применением на операции двусторонней доводки связанного каблучного алмазно-абразивного инструментом 207
5.2. Разработка технологии обработки пластин кремния 0 150 мм свободным абразивом 211
5.3. Выводы по 5-й главе 217
Общие выводы 219
Список литературы
