Введение
Глава 1. Особенности алмазно-абразивной обработки материалов (обзор)... 8
1.1. Традиционные технологии алмазно-абразивной обработки подложек для приборных пластин 8
1.2. Особенности обработки тонких пластин с помощью связанного алмазного инструмента 16
1.3. Выводы и постановка задачи исследований 31
Глава 2. Разработка новых типов связанного алмазно-абразивного инструмента для обработки подложек из кремния, арсенида галлия, сапфира и других материалов, используемых в качестве приборных пластин в микро и оптоэлектронике 34
2.1. Разработка алмазного инструмента на органической связке на основе эпоксидной смолы 35
2.1.1. Влияние компонентов связки на свойства инструмента...35
2.1.2. Выбор оптимальной зернистости алмазного порошка и его концентрации 39
2.2. Подбор оптимального состава связки алмазного инструмента на основе термореактивной прессовочной массы 48
2.3. Разработка пористого алмазного инструмента на основе эпоксидной смолы 55
Глава 3. Исследование и оптимизация технологических режимов прецизионной механической обработки подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью новых типов связанного алмазно-абразивного инструмента 58
3.1. Исследование влияния различных типов связанного инструмента и режимов обработки на точность и качество обрабатываемой поверхности различных материалов
3.2. Оптимизация состава смазочно-охлаждающей жидкости 65
3.3. Исследование влияния различных типов алмазного порошка на режущую способность алмазного инструмента 82
Глава 4. Разработка и внедрение технологии шлифования и полирования подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью связанного алмазного инструмента 96
4.1. Разработка шлифовального инструмента для односторонней обработки плоских поверхностей деталей 97
4.1.1. Внедрение технологии утонения приборных пластин из кремния, арсенида галлия и сапфира 108
4.2. Разработка шлифовального инструмента для двусторонней обработки плоских поверхностей деталей 113
Заключение 139
Список литературы
