Введение
ГЛАВА 1. Обзор теоретических и экспериментальных работ по оптическим и электрическим свойствам покрытий на основе широкозонных полупровод никовых материалов 11
1.1. Область применения широкополосных спектроделительных 1.2. покрытий 11
1.2. Характерные особенности оксидов металлов с точки зрения получения тонкослойных прозрачных токопроводящих покрытий 15
ГЛАВА 2. Технология получения и свойства пленок на основе In203(Sn) 31
2.1. Технологическое оборудование и измерительная техника 31
2.2. Условия получения пленок 39
2.3. Оптические характеристики 41
2.4. Функция качества для определения технологических параметров изготовления пленок 47
2.5. Электрические свойства пленок In203(Sn) 52
2.6. Оценка механической прочности слоев In203(Sn) 60
2.7. Оценка координат цветности (х, у) прозрачных токопроводящих покрытий 67
ГЛАВА 3. Влияние отжига на оптические и электрические параметры пленок bi203(Sn) 71
3.1.Исследование влияния отжига на воздухе 73
3.2. Исследование влияния отжига в вакууме 80
ГЛАВА 4 . Разновидности оптических покрытий на основе слоев ln203(Sn) 87
4.1. Прозрачные в видимой области спектра электроды и нагревательные элементы 87
4.1.1. Оптимизация толщины покрытия с целью обеспечения максимальной прозрачности и минимального поверхностного сопротивления 87
4.1.2. Зависимость поверхностного сопротивления и прозрачности от скорости роста пленки и давления кислорода в камере 89
4.1.3. Теплофизические характеристики прозрачных нагревателей 97
4.2. Широкополосные спектроделительные покрытия 99
4.2.1. Спектроделительные покрытия на основе металлодиэлектри-ческих слоев 100
4.2.2. Оптимизация конструкции спектроделительного покрытия на основе слоя In203(Sn) 103
4.2.3. Просветление в видимой области спектра спектроделительного покрытия на основе ІпгОзСБп) ПО
4.3. Влияние поверхностной проводимости пленки bi203(Sn) на отражение в инфракрасном диапазоне спектра 113
Выводы 124
Заключение 126
Литература 129
