Введение
1. Газочувствительные резисторы на основе тонких пленок диоксида олова 10
1.1. Проводимость пленок диоксида олова 24
1.2. Строение и модификация поверхности оксидов металлов со структурой рутила 38
1.3. Математическое моделирование газочувствительных свойств слоев на основе диоксида олова 55
1.4. Применение тонкопленочных резисторов на основе диоксида олова в системах распознавания газо-воздушных смесей 57
Основные результаты и выводы 60
2. Методика эксперимента и образцы 61
2.1. Получение пленок диоксида олова 61
2.2. Мультисенсорная система на основе пленки диоксида олова 68
2.3. Установка для исследования электрического сопротивления и газочувствительности 69
Основные результаты и выводы 83
3. Зависимость проводимости тонкопленочных резисторов на основе диоксида олова от температуры 85
3.1. Влияние предыстории образца на его температурную зависимость проводимости 85
3.2. Влияние режима измерения на вид температурной зависимости проводимости плёнки диоксида олова 89
3.3. Динамика изменения проводимости плёнки диоксида олова при изменении состава окружающей среды 94
3.4. Влияние влажности на температурную зависимость проводимости слоев диоксида олова 97
Основные результаты и выводы 100
4. Математическое моделирование температурной зависимости проводимости тонкопленочных резисторов на основе диоксида олова 101
4.1. Модель температурной зависимости проводимости тонкой пленки оксида металла 102
4.2. Адсорбция кислорода 114
4.3. Адсорбция воды 147
4.4. Применение математической модели для аппроксимации экспериментальных данных 151
Основные результаты и выводы 165
5. Распознавание запахов на основе анализа отклика мультисенсорной микросистемы 166
5.1. Влияние предварительного нагрева на распознавательную способность мультисенсорной микросистемы 166
5.2. Распознавание запаха дымов с помощью анализа кинетики изменения сигналов мультисенсорной системы 170
Основные результаты и выводы 178
Заключение 179
Список цитируемой литературы 181
