Введение
Глава I. Проблема рентгеновской дифракции в пленках с переменным градиентом деформации . 14
1.1 Кристаллические структуры с периодическим полем деформаций. 14
1.2 Рентгеновская дифракция в кристалле со сверхпериодом . 18
1.3 Динамическая теория дифракции в сверхрешетках. 21
1.4 Кинематическая теория дифракции в сверхрешетках. 46
1.5 Дифракция в кристалле с переходным слоем. 56
Глава II. Деформации и напряжения в многослойных эпитаксиальных системах . 65
2.1 Влияние пластической деформации подложки на профиль напряжений и критическую толщину эпитаксиальной пленки. 65
2.2 Идентификация гексагональной фазы в эпитаксиальной системе ОаР/7п(1У )8. 78
Глава III. Динамическая дифракция в периодических структурах . 93
3.1 Концепция единой параметризации в проблеме описания дифракции в сверхрешетках. 93
3.2 Влияние градиента деформации между слоями сверхрешеток на динамические эффекты рентгеновской дифракции. 100
3.3 Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в сверхрешетке с различными толщинами слоев в периоде. 107
3.4 Динамическая рентгеновская дифракция в сверхрешетках с различным градиентом деформации в переходной области. 119
Глава IV. Особенности дифракции в кристаллах с переменным градиентом деформации, следующие из характеров решений уравнений Такаги . 127
4.1 Структура с переменным градиентом деформации. 132
4.2 Структура с периодическим полем деформации . 135
Г лава V. Динамическая рентгеновская дифракция в кристаллах с монотонным градиентом деформации . 140
5.1 Динамическая рентгеновская дифракция в кристалле с экспоненциальным градиентом деформации. Точное аналитическое решение и основные качественные
особенности волнового поля. 140
5.2 Динамическая дифракция в случае резкого градиента деформации. 148
5.3 Расчет равномерно пригодных разложений для
вырожденных гипергеометрических функций. 157
5.4 Новые точные аналитические решения рентгеновской динамической дифракции в кристаллах с переменным градиентом деформации . 163
5.5 Полу кинематическая теория резкоасимметичной дифракции на бикристалле. 170
Глава VI. Экспериментальные методы анализа упругонапряженного состояния и переходных слоев многослойных гетероструктур . 180
6.1 Рентгенодифрактометрический способ определения всех компонент полного тензора деформаций. 180
6.2 Расчет упругих напряжений и концентрации твердого раствора в гетероструктурах по измеренным деформациям. 188
6.3 Рентгенодифракционный способ определения характеристик эпитаксиальных структур. 191
6.4 Рентгенодифракционный способ определения параметров многослойных гетероструктур. 197
6.5 Характер рентгенодифракционного рассеяния и определение структурных параметров пленки с переменным градиентом деформации. 206
6.6. Рентгенодифрактометрическое определение статического фактора в пленках с градиентом деформации. 212
Заключение и основные результаты. 218
Литература. 2
