Введение
1. Литературный обзор 10
1.1. Окисление металлов: общие положения 10
1.2. Особенности окисления металлов триады железа 15
1.2.1. Кинетика имеханизм окисления никеля 15
1.2.2. Особенности окисления кобальта 17
1.2.3. Механизм окисления железа 19
1.3. Собственное окисление арсснида галлия 21
1.4. Граница раздела Me/AnIBv: строение, свойства, процессы 27
2. Методика формирования, термооксидирования и исследования свойств гетероструктур Mc/GaAs и McO/GaAs 41
2.1. Исходные материалы и предварительная обработка 41
2.2. Обзор свойств оксидов металлов триады железа 42
2.2.1. Оксиды никеля 42
2.2.2. Оксиды кобальта 43
2.2.3. Оксиды эюелеза 44
2.2.4. Особенности нестехиометрии некоторых оксидов никеля, кобальта и железа 46
2.3. Методика формирования гетеро структур 50
2.3.1. Магнетронное распыление 52
2.3.2. Вакуумно-термическое испарение 54
2.4. Методика термического окисления структур 55
2.5. Методика обработки результатов 56
2.6. Физико-химические методы исследования полученных структур 57
2.6.1. Метод измерения толщины пленок (эллипсометрия) 58
2.6.2. Методы мониторинга морфологии поверхности и пленки (АСМ, РЭМ) 60
2.6.3. Методы исследования химического состава пленок (РФА, ИКС, ЭОС) 61
2.6.4. Исследование электрофизических характеристик полученных слоев 65
3. Формирование многокомпонентных слоев термическим окислением гетероструктур Ni (Со, Fe)/GaAs при магнетронном способе напыления 67
3.1. Окисление структур Ni(M)/GaAs 67
3.2. Окисление структур Со(50 и 25iiM)/GaAs 75
3.3. Окисление структур Fe(50 и 25HM)/GaAs 82
3.3.1. Анализ неокисленных образцов 82
3.3.2. Твердофазные взаимодействия при окислении структур Fe(50 и 25im)/GaAs 85
4. Термооксидирование гетероструктур Ni (Co)/GaAs> с пленками вакуумно-термически нанесенного металла 96
4.1. Окисление структур Ni(BT)/GaAs 96
4.2. Окисление структур Co(BT)/GaAs 100
5. Твердофазные реакции при термическом окислении гетероструктур NiO/GaAs и CoO/GaAs: Влияние толщины оксида 107
5.1. Окисление структур NiO(40 и 25nivi)/GaAs 108
5.2. Окисление структур СоО(70 и 25nin)/GaAs 118
6. Механизмы эволюции гетероструктур Me/GaAs и MeO/GaAs при их термическом окислении 131
Выводы 158
