Введение
Глава 1. Экспериментальные методы исследования пространственного распределения упруго и неупруго отраженных электронов поверхностью конденсированного состояния вещества 13
1.1. Экспериментальная методика исследования упругого и неупругого отражения электронов приборами первого поколения 13
1.2. Экспериментальная методика исследования упругого и неупругого отражения электронов приборами второго поколения 16
1.2.1. Экспериментальный вакуумный прибор 16
1.2.2. Электронная пушка . 17
1.2.3. Мишень 19
1.2.4. Система вращения детектора-анализатора . 21
1.2.5. Анализ электронов по энергии и углам рассеяния 23
1.2.5.1. Малогабаритный анализатор с задерживающим полем 23
1.2.5.2. Дисперсионный анализатор 27
1.3. Детектор электронов 32
1.4. Экспериментальный прибор третьего поколения для комплексного исследования дифференциальных и интегральных характеристик взаимодействия электронов с твёрдым телом 36
1.5. Компенсация магнитного поля 44
1.6. Исследуемые материалы и испарители 47
1.7. Погрешности измерений угловых распределений эмитированных поверхностью электронов 53
Глава 2. Экспериментальные исследования пространственных распределений электронов, упруго отраженных поверхностью твердого тела 69
2.1. Исследование пространственных распределений УОЭ
при нормальном падении электронов на мишень 69
2.2. Зависимость угловых распределений УОЭ от угла падения электронов на мишень 79
2.3. Измерение абсолютных интенсивностей УОЭ в узком телесном угле 89
2.4. Упругое рассеяние электронов при адсорбции Au на Be и Be на Au. Пробеги упруго рассеянных электронов 93
Глава 3. Модели упругого отражения электронов поверхностью конденсированного состояния вещества 101
3.1. Аналитические модели упругого отражения электронов поверхностью конденсированного состояния вещества 101
3.2. Статистические модели упругого отражения электронов 113
3.3. Упругое рассеяние электронов на атомах твердого тела .123
3.4. Сравнение экспериментальных и расчетных результатов угловых распределений УОЭ конденсированными средами 135
3.5. Расчет сечений упругого рассеяния электронов на атомах золота 146
3.6. Определение роли однократного рассеяния в формировании коэффициента упругого отражения электронов поверхностью твердого тела 152
Глава 4. Спектроскопия упругого отражения электронов с разрешением по углу 158
4.1. Аналитические возможности спектроскопии упругого отражения с разрешением по углу 158
4.2. Определение внутреннего потенциала вещества 160
4.3. Определение длины свободного пробега электронов относительно неупругого взаимодействия 161
4.4. Определение вероятности поверхностных потерь 163
4.5. Спектроскопия упругого отражения электронов для определения элементного состава приповерхностной области твердого тела .167
4.6. Определение концентрации элементов многокомпонентных образцов с разрешением по глубине 173
4.7. Чувствительность спектроскопии упругого отражения электронов для определения элементного состава приповерхностного слоя твердого тела 183
4.8. Разработка тестовых образцов для спектроскопии упругого отражения электронов и методика калибровки электронных спектрометров 192
4.9. Возможности спектроскопии упруго рассеянных электронов в растровой электронной микроскопии 194
Глава 5. Неупругое отражение электронов от поверхности конденстрованного состояния вещества 207
5.1. Пространственное и энергетическое распределения неупруго отраженных электронов поверхностью конденсированного состояния вещества .207
5.2. Спектроскопия характеристических потерь энергии электронов для анализа электронной структуры твердого тела 220
Заключение .236
Библиография
