Введение
1. Флуктуации в полупроводниковых приборах 11
1.1. Традиционные методы исследования шумовых процессов 13
1.2. Измерение шумов в приборах и требования к измерительной аппаратуре 16
1.3. Классификация шумов по виду СПМШ 19
1.3.1. Белый шум 19
1.3.2. Фликкер-шум или шум типа І/f. 24
Выводы по первому разделу 42
2. Методы шумовой диагностики для обнаружения временной структуры флуктуанионных процессов .
2.1. Постановка задачи 43
2.2. Анализ возможностей дискретного Фурье преобразования в случае исследования флуктуационных процессов 44
2.3. Принципы вейвлет-преобразования дискретных рядов 50
2.4. Возможности вейвлет-анализа временной структуры 59
2.5. Статистический анализ поля вейвлетной плотности мощности шума 71
2.6. Количественные характеристики фрактальных свойств поля ВПМШ 73
2.7. Описание программно-аппаратного комплекса 80
Выводы по второму разделу 86
3. Применение вейвлет-анализа для детектирования изменений шумовых процессов в полупроводниковых приборах 88
3.1. Исследование шумов силовых диодов большой площади 89
3.2. Детектирование влияния облучения у-квантами кремниевого биполярного транзистора с помощью вейвлет анализа 108
3.3. Шумовая диагностика диодных термодатчиков 119
3.4. Исследование релаксационных и деградационных процессов в полупроводниковых приборах с помощью вейвлет-анализа 129
3.5. Исследование кремниевых фотодиодов 136
3.6. Вейвлет-анализ фотодиодов из антимонида индия 139
3.7. Исследование пленочных резисторов на основе Sn02 142
Выводы по третьему разделу 144
4. Связь вейвлет анализ шумовых процессов в полупроводниковых структурах с существующими моделями низкочатотного шума 146
4.1. Сопоставление основных экспериментальных результатов с моделями шума 147
4.2. Пример реализации возможности определения "шумящих" областей в полупроводниковых структурах 151
Выводы по четвертому разделу 159
Заключение 160
Список использованных источников 162
Приложения 178
