Введение
1. Обзор литературы 13
1.1. Способы получения атомарного водорода и его внедрение в полупроводниковые мателы 13
1.2. Методы контроля атомарного водорода 15
1.3. Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью полупроводников 16
1.4. Диффузия атомарного водорода в полупроводники 19
1.5. Влияние водородной обработки на электрофизические свойства полупроводников 24
1.6. Влияние водородной обработки на характеристики полупроводниковых приборов 27
1.7. Стабильность эффектов 29
1.8. Конфигурационно-зарядовое состояние водорода в полупроводниках 31
1.9. Постановка задачи 34
2. Методики экспериментов по обработке образцов в потоке атомарного водорода 37
2.1 Экспериментально-технологическая установка 37
2.2. Технологический маршрут приготовления образцов и условия их обработки в потоке атомарного водорода 39
2.3. Численное моделирование 43
3. Влияние обработки атомарным водородом на свойства поверхности и приповерхностной области эпитаксиального n-GaAs 50
3.1. Влияние диэлектрической плёнки SiOi на процессы, происходящие на границе раздела SiOiln-GaAs и в приповерхностной области n-GaAs
во время обработки в потоке атомарного водорода 50
3.2. Изменение структуры поверхности n-GaAs под воздействием атомарного водорода 58
3.3. Аморфизация поверхности и приповерхностной области n-GaAs 67
3.4. Изменение химической активности материала n-GaAs
под воздействием атомарного водорода 73
4. Влияние обработки атомарным водородом на электрофизические свойства n-GaAs 83
4.1. Пассивация мелкой донорной примеси 83
4.2. Стабильность эффекта пассивации мелкой донорной примеси 87
4.3. Пассивация электрически активных центров в n-GaAs, дающих глубокие уровни в запрещённой зоне 91
5. Влияние обработки атомарным водородом на приборные статические электрические арактеристики Au/n-n+GaAs структур с барьером Шоттки 98
5.1. Статические электрические характеристики Аи/п-п+ Ga/b структур с барьером Шоттки 98
5.2. Причины, приводящие к изменеию статических приборных характеристик под воздействием атомарного водорода 105
Заключение 113
Список литературы
