Введение
1 Датчики и приборы для измерения влажности (обзор) 11
1.1 Основные типы датчиков влажности 11
1.1.1 Характеристики приборов для измерения относительной пппппппшвлажности воздуха 11
1.1.2 Емкостной сорбционный датчик влажности 12
1.1.3 Оптический датчик влажности 15
1.1.4 Резистивный сорбционный датчик влажности 17
1.1.5 Датчики влажности на основе полупроводниковых приборов 20
1.1.6 Влагочувствительные полимерные пленки 23
1.1.7 Сравнительная оценка параметров и особенностей пппппппшсуществующих датчиков влажности 30
1.2 Акустоэлектронные датчики влажности 30
1.2.1 Принципы работы датчиков на поверхностных акустических пппппппшволнах 30
1.2.2 Разработки в области датчиков влажности 37
1.2.3 Патенты на акустоэлектронные датчики влажности 43
1.3 Выводы по главе
1. Постановка задач исследования 46
2 Разработка чувствительного элемента 48
2.1 Разработка резонаторов для чувствительного элемента 48
2.2 Технология изготовления чувствительного элемента 59
2.3 Исследование резонаторов с влагочувствительным покрытием
2.3.1 Экспериментальные исследования резонаторов с пппппппшвлагочувствительными слоями 64
2.3.2 Анализ результатов экспериментальных исследований пппппппшрезонаторов 72
2.4 Чувствительный элемент 80
2.5 Выводы по главе 2 83
3 Антенное устройство 85
3.1 Антенны беспроводных пассивных датчиков 85
3.2 Разработка антенного устройства датчика влажности 93
3.3 Выводы по главе 3 105
4 Экспериментальные исследования датчика пвлажности 106
4.1 Исследования макета датчика 106
4.2 Выводы по главе 4 112
Заключение 113
Список сокращений и условных обозначений 115
Список литературы 117
