Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1 Литературный обзор . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.1 Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.2 Плазма твердого тела в трехмерных системах . . . . . . . . . . . 17
1.2.1 Продольные трехмерные плазменные возбуждения . . . . . 18
1.2.2 Поперечные трехмерные плазменные возбуждения . . . . . 28
1.3 Продольные плазменные возбуждения в двумерных системах . . 32
1.4 Обнаружение поперечных плазменных колебаний в двумерных
системах . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2 Образцы и экспериментальные методики . . . . . . . . . . . . . 45
2.1 Параметры структур . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
2.2 Изготовление образцов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
2.2.1 Изготовление мембран . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
2.2.2 Изготовление фазовращателей . . . . . . . . . . . . . . . . 51
2.2.3 Изготовление плазмонных метаповерхностей . . . . . . . . 54
2.3 Методика измерения . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
3 Обнаружение и исследование поперечных электромагнитных
плазменных возбуждений в полупроводниковых наноструктурах . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
3.1 Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
3.2 Плазменный край в спектре пропускания двумерных электронных систем на поверхности тонких диэлектрических мембран . . 63
3.3 Выводы . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
3
4 Создание и исследование полупроводникового GaAs фазовращателя, работающего в терагерцовом частотном диапазоне . . 73
4.1 Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
4.2 Перестраиваемый терагерцовый фазовращатель на основе полупроводниковой технологии GaAs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
4.3 Влияние двумерной электронной системы на сдвиг фазы . . . . . 82
4.4 Выводы . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
5 Исследование плазмонных метаповерхностей . . . . . . . . . . . 91
5.1 Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
5.2 Отклик метаповерхности при поляризации падающего излучения
вдоль полос двумерной электронной системы . . . . . . . . . . . . 92
5.3 Отклик метаповерхности при поляризации падающего излучения
поперек полос двумерной электронной системы . . . . . . . . . . . 96
5.4 Выводы . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
Заключение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
Благодарности . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
Литература . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
