Введение
Глава 1. Особенности фазовых превращений и дефектообразования в полупроводниковых структурах при локальном поверхностном нагреве 12
1.1. Структурные особенности основных полупроводниковых материалов и систем металлизации 12
1.2. Особенности системы металлизации полупроводниковых приборов и структур на основе алюминия
1.2.1. Однослойная металлизация на основе алюминия 18
1.2.2. Многослойные системы металлизации 21
1.3. Основные механизмы деградации полупроводниковых приборов 25
1.3.1. Классификация отказов 25
1.3.2. Основные деградационные механизмы, связанные с отказом системы металлизации 1.3.2.1. Электродиффузия 26
1.3.2.2. Механизмы контактного плавления 27
1.3.2.3. Электромиграция расплавленных зон 31
1.3.3. Дефектообразование в кремнии 39
Глава 2. Методика экспериментальных исследований 41
2.1. Исходные материалы и подготовка структур 41
2.2. Описание измерительного комплекса 44
2.2.1. Формирователь электрических импульсов тока различной формы 45
2.3. Метод регистрации тепловых процессов в системах металлизации на кремнии 54
Глава 3. STRONG Исследование фазовых превращений в кремнии при тепловых ударах на его поверхности 59
3.1. Анализ STRONG тепловых режимов работы полупроводниковой структуры 59
3.2. Фазовые превращения, связанные с оплавлением систем металлизации 68
3.3. Контактное плавление как пример фазовых превращений на межфазной границе полупроводник-металл 72
Глава 4. Дефектообразование в кремнии при поверхностных тепловых ударах 77
4.1. Образование дислокационных полупетель в условиях теплового удара на поверхности кремния 77
4.2. Динамика дислокаций в легированном кремнии 83
4.3. Предполагаемая модель магнитостимулированных изменений 86
4.4. Влияние магнитных полей на образование и динамику дислокаций в кремнии 96
4.5. Дислокационный ангармонизм в кремнии 101
Выводы 111
Список использованных источников
