Введение
1. Газовый анализ на основе сенсоров Sn02 11
1.1. Газовые сенсоры на основе SnOi 11
1.1.1. Электрофизические свойства Sn02 11
1.1.2. Поверхностные свойства пленок S11O2-X» гетерогенные реакции и природа газовой чувствительности 15
1.1.3. Осцилляция гетерогенных реакций на поверхности полупроводниковой пленки 30
1.1.4. Шум тонких поликристаллических пленок на основе SnOi.x 34
1.2. Методы газового анализа 39
Выводы 51
2. Исследования динамических характеристик сенсоров 53
2.1. Конструкция, технология и статические характеристики тонкопленочных сенсоров на основе диоксида олова 53
2.1.1. Технология изготовления и конструкция сенсоров 54
2.1.2. Температурная зависимость сенсоров и стабилизация во времени 58
2.1.3. Газочувствительные свойства сенсоров и переходные процессы при введении газовых добавок 64
2.2. Исследование динамических характеристик газовых сенсоров 77
2.2.1. Установка и методика исследования газовой чувствительности 78
2.2.2. Исследование динамических реакции сенсоров при импульсном периодическом нагреве для идентификации газов и паров различных веществ 89
2.2.3. Исследование возможности использование динамических характеристик сенсоров для определения концентрации исследуемых веществ 110
2.3 Обсуждение результатов 124
Выводы 127
3. Исследование флуктуационных явлений и возникновения осцилляции в газовых сенсорах при введении газовых добавок . 128
3.1. Установка для измерения и отработка методики исследования шумов в полупроводниковых газовых сенсорах 129
3.2. Шум сенсоров с аддмтивами Sb, In, Си при введении газовых добавок СО, метан и в случае паров спирта 132
3.3. Возникновение периодических колебаний сопротивления сенсоров при введении СО, метана и паров этилового спирта 143
3.3.1 Осцилляция сопротивления для сенсоров с аддитивом In 144
3.3.2 Осцилляция сопротивления для сенсоров с аддитивом Sb 147
3.3.3. Осцилляция сопротивления для сенсоров с аддитивом Си 149
3.3.4 Особенности зависимости амплитуды осцилляции от концентрации СО для сенсоров с аддитивами Sb, In, Си 151
3.4 Обсуждение результатов 155
Выводы 163
Основные Результаты И Выводы 164
Список Используемой Литературы 167
