Введение
Литературный обзор
1.1. Основные типы и свойства алмазоподобных структур 14
1.2. Основные методы получения алмазоподобных покрытий 22
1.3. Трибологические и механические и свойства алмазоподобных
1.4. Структура пленок на основе карбидов переходных металлов а) Кристаллические структуры пленок на основе карбидовб) Аморфные пленки карбидов переходных металлов в) Модели структуры алмазоподобных углеродных покрытий г) Электронная структура и химическая связь тонких пленок 38 39 41 4649
II. Образцы и методика эксперимента
II.1. Получение образцов
II.1.1. Приготовление образцов методом магнетронного
II.1.2. Приготовление образцов методом плазмохимического
II.2. Методика рентгендифракционного исследования образцовпокрытий и обработки полученных дифракционных картин 56
II..3. Расчет функции радиального распределения изрентгендифракционных данных а) Метод функции радиального распределения атомов (ФРРА) б) Параметры, определяемые из кривых радиального распределения 65 6568
II.4. Вычисления функции радиального распределения сиспользованием программы PDFgetX3 69 72
11.5. Методика проведения трибологических испытаний образцов II.6. Методика проведения механических испытаний образцов 77
II.7. Использование метода рамановской спектроскопии дляисследования образцов алмазоподобных покрытий
II.8. Определение химического состава покрытий 82
ГЛАВА III. Определение структурно - фазовых характеристик алмазоподобных покрытий из рентгендифракционных данных 84
III.2. Рентгендифракционные исследования алмазоподобных покрытий... 85
III.3. Определение фазового состава и структурных характеристикобразцов алмазоподобных покрытий, легированных хромом 94
III.4. Определение фазового состава и структурных характеристикобразца алмазоподобного покрытия, легированного молибденом 106
III.5. Определение фазового состава и структурных характеристикобразцов алмазоподобных покрытий, легированных вольфрамом ПО
III.6. Расчет и анализ функций радиального распределения в фазах,обнаруженных в исследованных покрытиях 112
Г Л А В А IV. Результаты исследований физических и функциональных свойств покрытий
IV.1. Результаты исследования микромеханических характеристикалмазоподобных покрытий IV.2. Результаты исследования трибологических характеристик 119
Обсуждение полученных результатов 128
Основные результаты и выводы 130
Список печатных работ, опубликованных по теме диссертации 132
Список литературы 140
