Введение
ГЛАВА 1. Современное состояние исследований эффекта обратимого переключения электрической проводимости нестехиометрического оксида кремния 15
1.1. Обзор эффектов обратимого переключения проводимости в тонких диэлектрических плёнках 15
1.2. Первичные исследования переключения проводимости в тонких плёнках SiO2 с локальным нарушением стехиометрии 20
1.3. Анализ существующих модельных представлений механизма переключения проводимости в тонких плёнках SiO2 с локальным нарушением стехиометрии 32
1.4. Переключение проводимости в тонких плёнках оксида кремния с нестехиометрическим составом во всём объеме 40
1.5. Выводы по первой главе 44
ГЛАВА 2. Модельные представления эффекта переключения проводимости в тонких плёнках на основе SIO2 с позиций диффузионно-лимитируемых фазовых перестроек 48
2.1. Экспериментальный базис модельных представлений 49
2.2. Феноменология эффекта ОПЭП в тонких плёнках SiO2 с локальным нарушением стехиометрии 52
2.3. Основные уравнения количественной модели. Допущения и приближения 59
2.4. Расчёт объёмного распределения температуры в области филамента проводимости 62
2.5. Первое приближение решения основных уравнений количественной модели 68
2.6 Оптимизация значений параметров уравнений количественной модели и сопоставление с экспериментом 71
2.7. Выводы по второй главе 79
ГЛАВА 3. Методы экспериментальных исследований и изготовления тестовых структур 80
3.1. Тестовые структуры на основе SiO2 80
3.2. Тестовые структуры на основе SiOx з
3.3. Измерение электрических характеристик 97
3.4. Исследование состава активного слоя 100
3.5. Выводы по третьей главе 105
ГЛАВА 4. Экспериментальное исследование эффекта переключения проводимости в тонких плёнках SiOx 106
4.1. Переключение проводимости в структурах с индуцированным локальным нарушением стехиометрии вблизи вакуумированной торцевой поверхности активного слоя 107
4.2. Эффект ОПЭП в исходно нестехиометрическом SiOx. Влияние химического состава активного слоя и материала электродов 110
4.3. Масштабирование тестовых структур с исходно нестехиометрическим оксидом кремния 120
4.4. Температурные характеристики эффекта в исходно нестехиометрическом оксиде кремния 125
4.5. Принципиальные различия эффектов ОПЭП для исходного и индуцированного электроформовкой SiOx 134
4.6. Выводы по четвёртой главе 136
Заключение 137
Список сокращений 140
