Введение
Глава I. Литературный обзор 9
1.1 Влияние термического отжига на электрические свойства нелегированных и легированных пленок a-Si:H 9
1.2 Фотопроводимость и механизмы рекомбинации в пленках a-Si:H 15
1.3 Изменение оптической ширины запрещенной зоны и оптических параметров пленок a-Si:H в результате их термического отжига 29
Глава 2. Исследованные образцы, методики измерений и обработки экспериментальных данных 37
2.1 Исследованные образцы 37
2.2 Методика определения концентрации водорода в пленках a-Si:H 40
2.3 Измерительная установка, методы измерений 41
2.4 Измерение электрических и фотоэлектрических характеристик пленок a-Si:H 46
2.5 Определение оптических параметров и оптической ширины запрещенной зоны пленок a-Si:H 50
Глава 3. Исследование влияния высокотемпературного отжига на электрические свойствалегированных бором пленок a-Si:H 56
3.1 Результаты эксперимента и их обсуждение 56
3.2 Основные результаты главы 3 73
Глава 4. Фотоэлектрические свойства пленок a-Si:H, подвергнутых высокотемпературному отжигу 75
4.1 Результаты эксперимента и их обсуждение 75
4.2 Основные результаты главы 4 85
Глава 5. Влияние высокотемпературного отжига на оптические свойства легированных бором пленок a-Si:H 86
5.1 Результаты эксперимента и их обсуждение 86
5.2 Основные результаты главы 5 101
Выводы 103
Список литературы 106
