Введение
Глава 1 Основные закономерности эмиссии обратнорассеянных и вторичных электронов (Обзор) 10
1.1 Угловые зависимости коэффициентов отражения и вторичной эмиссии электронов для массивных мишеней 10
1.1.1 Основные зависимости коэффициента отражения электронов
1.1.2 Параметрические зависимости коэффициента вторичной эмиссии электронов 15
1.2 Угловые зависимости энергетических спектров отражённых и вторичных электронов 21
1.2.1 Угловые зависимости спектров отражённых электронов 22
1.2.2 Угловые зависимости спектров вторичных электронов 24
1.3 Зависимости коэффициента отражения для свободных плёнок и структур типа “плёнка на подложке” 29
1.4 Анализ существующих методов восстановления профиля поверхности 31
Глава 2 Некоторые прикладные вопросы спектроскопии отражённых и вторичных электронов от проводящих мишеней в СЭМ 35
2.1 Уточнение характеристических параметров отражённых электронов для массивных и плёночных образцов 35
2.1.1 Расчёт коэффициента отражения для плёночных структур 35
2.1.2 Эмпирическое выражение для энергетических спектров отражённых электронов 38
2.1.3 Эмпирические выражения для наиболее вероятной и средней энергии отражённых электронов 41
2.2 Оптимизация кольцевых детекторов обратнорассеянных электронов в СЭМ 44
2.2.1 Задача исследования 44
2.2.2 Расчёт оптимальных параметров кольцевых детекторов 45
2.2.3 К вопросу о разделении топографического от композиционного контрастов 52
2.3 Определение толщин плёночных покрытий по интегральному сигналу отражённых электронов 55
2.4 Определение толщин ультратонких поверхностных плёнок по энергетическим спектрам ОЭ 57
2.4.1 Экспериментальные результаты 58
2.4.2 Выбор метода определения толщин плёночных покрытий по энергетическим спектрам отражённых электронов 66
2.5 Трёхмерная реконструкция профиля поверхности в отфильтрованных по энергии отражённых и вторичных электронах 69
2.5.1 Предпосылки создания метода трёхмерной реконструкции рельефа поверхности в отфильтрованных по энергии вторичных и отражённых электронах 69
2.5.2 Эксперимент 71
Глава 3 Электронная спектроскопия диэлектрических мишеней при электронном облучении 80
3.1 Критический анализ основных противоречий традиционных моделей зарядки диэлектрических мишеней. Постановка задачи 81
3.2 Методики экспериментов 84
3.2.1 Выбор методов определения поверхностных потенциалов диэлектрических мишеней в СЭМ 84
3.2.2 Оценка зарядовых потенциалов по сигналам катодолюминесценции и обратноотражённых электронов 93
3.3 Экспериментальные результаты и расчётные оценки 101
3.3.1 Экспериментальные характеристики зарядки различных типов диэлектриков 101
3.3.2 Расчёт электростатического потенциала в модели двухслойного распределения заряда 104
3.4 Новый сценарий кинетики зарядки диэлектрических мишеней
при электронном облучении 107
3.5 Особенности зарядки дилектрических мишеней, предварительно облучённых ионами и электронами 113
3.5.1 Постановка задачи, решаемые проблемы 113
3.5.2 Образцы и методика экспериментов 116
3.5.3 Результаты измерений 117
3.5.4 Обсуждение результатов исследований предварительно облучённых мишеней 122
Основные результаты и выводы: 128
Список публикаций по теме диссертации 129
Список цитируемой литературы 131
