Введение
ГЛАВА 1. Полупроводниковые системы на основе кремния и его соединений, содержащие наноразмерные объекты: формирование, свойства и особенности атомного и электронного строения 17
1.1. Пористый кремний. 17
1.2. Системы, содержащие нанокристаллы/нанокластеры кремния 32
1.3. Нанослоистые структуры на основе кремния и его соединений 50
1.4. Структуры, содержащие квантовые точки 53
1.5. Экспериментальные методы исследования плотности электронных состояний 62
1.6. Выводы .70
ГЛАВА 2. Методика экспериментальных исследований .72
2.1. Методика получения ультрамягких рентгеновских эмиссионных L2,3
спектров кремния 73
2.2. Методика фазового компьютерного анализа по эмиссионным рентгеновским спектрам 79
2.3. Методика получения информации о распределении плотности электронных состояний в зоне проводимости на основе спектров ближней тонкой структуры L2,3 края рентгеновского поглощения кремния 81
2.4. Технология получения, основные свойства и характеристики изученных полупроводниковых наносистем на основе кремния и его соединений 100
ГЛАВА 3. Электронное строение, фазовый состав и фотолюминесценция нанопористого кремния 115
3.1. Влияние условий формирования на особенности электронного строения и фазового состава пористого кремния сформированного на подложках р-типа 115
3.2. Электронное строение и фазовые состав пористого кремния, сформированного на подложках n-типа .124
3.3. Эволюция электронного строения, состава и фотолюминесценции нанопористого кремния в процессе естественного старения в атмосфере...138
3.4. К вопросу о формировании и окислении поверхностных слоев аморфного кремния 149
3.5. Модельные представления о фотолюминесценции нанопористого кремния по данным рентгеновской спектроскопии 166
3.6. Выводы 171
ГЛАВА 4. Особенности атомного и электронного строения систем, содержащих нанокластеры/нанокристаллы кремния 172
4.1. Плотность состояний и особенности формирования в слоях оксидов кремния кластеров и нанокристаллов после ионной имплантации Si+ в матрицу SiO2 172
4.2. Закономерности формирования системы нанокристаллов кремния при термических отжигах пленок субоксида кремния 178
4.3. Перестройка энергетического спектра электронов кремния и алюминия в многослойны х нано периодическ и х структ ура х Al2O3/SiO/ Al2O3/SiO Si при
высокотемпературном отжиге 202
4.4 Электронно-энергетическое строение и фазовый состав нанопорошков кремния, полученных распылением кремния мощным электронным пучком 214
4.5. Выводы 224
ГЛАВА 5. Закономерности и особенности формирования энергетического спектра электронов нанослоев кремния и его соединений 226
5.1. Особенности распределения плотности электронных состояний в зоне проводимости нанослоев и квантовых точек твердых растворов Si1-xGex 226
5.2. Особенности электронно-энергетического строения нанослоев кремния в структурах "кремний на изоляторе" 232
5.3. Выводы 251
Заключение и выводы 252
Литература 254
