Введение
Глава 1. Обзор литературы и постановка задачи исследования 24
1.1. Эффект электронного разогрева в сверхпроводниках 24
1.2. Болометр на эффекте электронного разогрева как смеситель 29
1.3. Электронно-разогревной болометр как прямой детектор 31
1.4. Выводы к главе 33
Глава 2. Технология изготовления терагерцовых детекторов на эффекте электронного разогрева, интегрированных в планар ную логарифмическую спиральную антенну 35
2.1. Обзор современных технологий изготовления микро- и нанораз-мерных устройств 35
2.2. Технология изготовления образцов детекторов, исследуемых в диссертационной работе 38
2.3. Первичные исследования изготовленных образцов на постоянном токе 45
2.4. Выводы к главе 50
Глава 3. Исследование вольт-ваттной чувствительности, оптической эквивалентной мощности шума и энергетического разрешения болометра на основе эффекта электронного разогрева 52
3.1. Моделирование вольт-ваттной чувствительности болометра при температуре близкой к критической 53
3.2. Исследование вольт-ваттной чувствительности и оптической эквивалентной мощности шума по оптимизированной методике 58
3.3. Теоретический расчёт эквивалентной мощности шума детектора
3.4. Прямое экспериментальное измерение энергетического разрешения детектора 67
3.5. Выводы к главе 72
Глава 4. Применение детекторной системы для регистрации коротких импульсов терагерцового излучения 73
4.1. Регистрации ТГц импульсов наносекундной длительности, сгенерированных методом оптического выпрямления 73
4.2. Детектирование коротких импульсов ТГц излучения, полученных методом генерации на разностной частоте в нелинейной оптической среде 75
4.3. Исследование коэффициента отражения роговицы и склеры в субтерагерцовом диапазоне 78
4.4. Выводы к главе 81
Заключение 82
Список сокращений и условных обозначений 87
Список литературы
