Введение
Глава 1 Твердотельные датчики газов
1.1 Влияние адсорбции газов на электрические свойств широкозонного полупроводника SnC>2. стр. 11
1.2 Физические свойства пленок металлооксидныхполупроводников, типа диоксида олова, оксида цинка и методы их получения . стр.21
1.3 Конструкция толстопленочных датчиков газов стр.35
1.4 Конструкции тонкопленочных датчиков стр.40
Выводы стр.51
Глава 2 Разработка конструкции и технологии изготовления газовых датчиков .
2.1 Выбор конструкции и расчет элементов топологии стр.54
2.2 Расчет конструкции газового датчика .57
2.3 Анализ свойств тонких пленок из NiCr применительно (ф к конструкции газового датчика стр.59
2.4 Исследование влияния режимов термостабилизационного отжига на свойства элементов конструкции газовых датчиков стр.63
2.5 Исследование прочности сварных соединений внутренних выводов ГС А1 - NiCr 50/50% стр.66
2.6 Технологические схемы изготовления газовых (д датчиков стр.70
Выводы стр.80
Глава 3 Тепловая модель газового сенсора
3.1 Тепловые характеристики элементов датчика стр.81
3.2 Анализ тепловых потерь кристалла газового датчика в статическом режиме 84
3.3 Расчет распределения температуры по поверхности кристалла кремния. стр.88
3.4 Зависимость температуры датчика от времени стр.93
3.5 Объекты и методика исследования распределениятемпературы по кристаллу газового сенсора стр.97
3.6 Экспериментальные исследования теплофизических свойств газовых датчиков стр.103
Выводы стр.115
Глава 4 Полуавтоматический пороговый индикатор регистрации уровней концентрации токсичных газов в окружающей атмосфере
4.1 Термообработка и газовый отклик пленок Sn(>2 стр. 117
4.2 Назначение и принцип действия прибора стр. 121
4.3 Устройство порогового индикатора стр. 125
4.4 Порядок работы. стр. 126
Выводы стр. 127
Заключение стр.128
Список литературы стр. 130
