Введение
1 Анализ состояния проблемы и выбор направления исследований 12
1.1 Тенденции развития технологии СВЧ ИС на основе НТК 12
1.2 Анализ методов учёта неоднородности поверхности
1.2.1 Общая характеристика проблемы учета неоднородности поверхности 17
1.2.2 Анализ развития методов учета неоднородности поверхности 20
1.2.3 Анализ существующих методов учёта неоднородности поверхности для НТК
1.3 Анализ современных численных методов математического моделирования сигналов 37
1.4 Основные результаты 42
2 Разработка эквивалентной схемной и атематической моделей учёта геометрической неоднородности поверхности СВЧ ИС 44
2.1 Экспериментальное исследование геометрической неоднородности поверхности СВЧ ИС на основе НТК 44
2.2 Схемная RLCG-модель микрополосковой линии передачи 47
2.3 Математическая модель учёта геометрической неоднородности поверхности СВЧ ИС 49
2.4 Основные результаты 53
3 Разработка численного метода расчёта параметров полезного сигнала СВЧ ИС 55
3.1 Алгоритм разрабатываемого численного метода 55
3.2 Численный метод дискретизации поверхности 55
3.3 Запись системы узловых уравнений 60
3.4 Преобразование системы узловых уравнений в матричный вид 65
3.5 Численный метод расчёта параметров сигнала во временной области 66
3.6 Численный метод расчёта параметров сигнала в частотной области 67
3.6.1 S-параметры однопортовой схемы 67
3.6.2 S-параметры многопортовой схемы 68
3.7 Верификация результатов расчёта 69
3.7.1 Полноволновое электромагнитное моделирование 69
3.7.2 Моделирование эквивалентных схем и сравнительный анализ 73
3.8 Основные результаты 73
4 Комплекс программ расчёта параметров полезного сигнала СВЧ ИС 75
4.1 Методика учёта реальной геометрии поверхности 75
4.2 Разработка программного комплекса для автоматизации расчётов
4.2.2 Алгоритм работы 87
4.2.3 Построение маски поверхности проводника 90
4.2.4 Генерирование эквивалентной схемы в виде SPICE-модели 93
4.3 Основные результаты 95
Заключение 97
Список литературы
