Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов
Просвирин Денис Борисович. Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Воронеж, 2005.- 123 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/798