Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления
Ляхов Анатолий Александрович. Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления: диссертация ... кандидата Физико-математических наук: 01.02.05 / Ляхов Анатолий Александрович;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский Томский государственный университет»], 2018.- 129 с.