Введение
Гл ава 1. Обзор существующих методов моделирования процессов электрохимического формообразования применительно к прецизионным технологиям 18
1.1. Некоторые замечания о средствах повышения точности копирования. Локализация процесса ЭХО 18
1.2 Общепринятые модели ЭХО 25
1.3. Краткий обзор решенных задач электрохимического копирования 32
Гл ава 2. Исследование распределения плотности тока в условиях немонотонной зависимости анодного потенциала 46
2.1. Плоская задача обработки точечным ЭИ 46
2.2. Плоская задача обработки стержневым ЭИ с круглым сечением (с постоянным потенциалом на ЭИ) 51
2.3. Плоская задача обработки стержневым ЭИ с круглым сечением (с переменным потенциалом на ЭИ) 56
Выводы по главе 2 62
Гл ава 3. Предельная квазистационарная обработка непрофилированными электродами-инструментами 64
3.1. Моделирование обработки горизонтально движущимся угловым ЭИ 64
3.2. Задача обработки горизонтально движущимся угловым ЭИ с изолированной вертикальной поверхностью 71
3.3. Задача обработки горизонтальным пластинчатым ЭИ 79
3.4. Задача обработки горизонтальным пластинчатым ЭИ с изоляцией 82
3.5. Задача обработки горизонтальным плоским ЭИ с изоляцией 89
Выводы по главе 3 95
Гл ава 4. Моделирование электрохимического копирования в ячейке конечной ширины 96
4.1. Модель и метод решения нестационарной задачи ЭХО 96
4.2. Метод решения стационарной задачи с учетом неравномерной поляризации анода 107
4.3. Постановка и метод решения задачи предельно-стационарного формообразования 112
4.4. Квазистационарное решение 120
4.5. Общее численное исследование 126
Выводы по главе 4 134
Заключение 135
Литература
